超声波扫描显微镜使用高频超声波(15MHz～2GHz)对试件内部、亚表面和表面等进行观察及定性定量分析。其可以非破坏性、精细、高灵敏度地对试件微观形貌、微损伤及力学性能进行表征，广泛应用于微电子、集成电路、材料、航空航天和生物等领域的科学研究及过程质量控制。